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真空镀膜机常见异常现象与对策,老师傅经验之谈!

编辑:木龙科技 发布时间:2020-07-18 14:00:23 点击:

 真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机常见异常现象与对策,老师傅经验之谈!

真空镀膜机

异常现象

确认要点

对策

1

膜层发黑或变黄

 

系统泄漏

检漏

精抽阀不完全打开

检查气压、活塞

扩散泵返油

更换泵油或检查冷阱挡油板是否变形

蒸发时间太长

控制镀膜时间

2

抽气周期变长

罗茨泵、滑阀泵工作不正常

检查泵油

设备漏气

检查各处密封圈

扩散泵工作不正常

检查扩散泵工作条件

工作室内表面膜层太厚

清除膜层

3

膜层变薄

铝丝太少

适当增加铝丝

蒸发电流小

加大电流

4

机械泵、滑阀泵返油

电机反转

对调两相电源线

油太多

减少泵油

5

蜂鸣器报警

水压不足

检查有无水压

压力控制器失灵

检查压力控制器

6

电动机不转动

断路器脱扣跳闸

检查线路后合上断路器

交流接触器不吸合理

检查或更换

7

蒸发电流上不去

蒸发变压器故障

修理或更换变压器

电极输入或电缆接触不良

检查输入电极和电缆

8

蒸发电流大且镀料不能完全蒸发

蒸发电极间绝缘不好

清洗或更换绝缘材料

蒸发变压器故障

修理或更换蒸发变压器

9

气动阀门无动作

气压不足

增加气压

电控换向阀及有关部件故障

检查电控换向阀、线路

10

工件转架有异响

转动轴承处有杂质

检查轴承

自转座螺丝松动

紧固各处螺丝

自转齿轮磨损

更换齿轮

真空镀膜机

    正常生产中,如遇到突然停电时,要立即切断高真空测量,关闭规管灯丝,高压阀、低压阀拉出。来电后,先让机械泵启动工作3~5min后,再转入正常生产。东莞木龙科技有限公司创立于2019年10月,是一家专业从事真空镀膜设备及工艺的研发、设计、生产、销售于一体的企业。主营产品:真空镀膜生产设备和真空镀膜配件、自动化设备、镀膜材料和镀膜加工。

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