真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机常见异常现象与对策,老师傅经验之谈!
序 |
异常现象 |
确认要点 |
对策 |
1 |
膜层发黑或变黄
|
系统泄漏 |
检漏 |
精抽阀不完全打开 |
检查气压、活塞 |
||
扩散泵返油 |
更换泵油或检查冷阱挡油板是否变形 |
||
蒸发时间太长 |
控制镀膜时间 |
||
2 |
抽气周期变长 |
罗茨泵、滑阀泵工作不正常 |
检查泵油 |
设备漏气 |
检查各处密封圈 |
||
扩散泵工作不正常 |
检查扩散泵工作条件 |
||
工作室内表面膜层太厚 |
清除膜层 |
||
3 |
膜层变薄 |
铝丝太少 |
适当增加铝丝 |
蒸发电流小 |
加大电流 |
||
4 |
机械泵、滑阀泵返油 |
电机反转 |
对调两相电源线 |
油太多 |
减少泵油 |
||
5 |
蜂鸣器报警 |
水压不足 |
检查有无水压 |
压力控制器失灵 |
检查压力控制器 |
||
6 |
电动机不转动 |
断路器脱扣跳闸 |
检查线路后合上断路器 |
交流接触器不吸合理 |
检查或更换 |
||
7 |
蒸发电流上不去 |
蒸发变压器故障 |
修理或更换变压器 |
电极输入或电缆接触不良 |
检查输入电极和电缆 |
||
8 |
蒸发电流大且镀料不能完全蒸发 |
蒸发电极间绝缘不好 |
清洗或更换绝缘材料 |
蒸发变压器故障 |
修理或更换蒸发变压器 |
||
9 |
气动阀门无动作 |
气压不足 |
增加气压 |
电控换向阀及有关部件故障 |
检查电控换向阀、线路 |
||
10 |
工件转架有异响 |
转动轴承处有杂质 |
检查轴承 |
自转座螺丝松动 |
紧固各处螺丝 |
||
自转齿轮磨损 |
更换齿轮 |
正常生产中,如遇到突然停电时,要立即切断高真空测量,关闭规管灯丝,高压阀、低压阀拉出。来电后,先让机械泵启动工作3~5min后,再转入正常生产。东莞木龙科技有限公司创立于2019年10月,是一家专业从事真空镀膜设备及工艺的研发、设计、生产、销售于一体的企业。主营产品:真空镀膜生产设备和真空镀膜配件、自动化设备、镀膜材料和镀膜加工。