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正确使用真空镀膜设备,效率翻一倍!

编辑:木龙科技 发布时间:2020-10-20 17:35:47 点击:

     真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。正确使用真空镀膜设备,效率翻一倍!

真空镀膜设备
    电控柜的操作
 
    1.开水泵、气源
 
    2.开总电源
 
    3.开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。
 
    4.开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
 
    5.观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
 
    DEF-6B电子枪电源柜的操作
 
    1.打开总电源
 
    2.同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。
 
    3.开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。
 
    关机顺序
 
    关高真空表头、关分子泵。
 
    待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
 
    到50以下时,再关维持泵。
真空镀膜设备
    另外小编告诉你真空镀膜设备当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。东莞木龙科技有限公司创立于2019年10月,是一家专业从事真空镀膜设备及工艺的研发、设计、生产、销售于一体的企业。主营产品:真空镀膜生产设备和真空镀膜配件、自动化设备、镀膜材料和镀膜加工。
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