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真空镀膜机的使用,原来这才是正确操作

编辑:木龙科技 发布时间:2021-03-30 18:19:15 点击:

     真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。真空镀膜机的使用,原来这才是正确操作。

真空镀膜机
    电控柜操作
 
    1.开水泵、气源。
 
    2.开总电源。
 
    3.开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。
 
    4.开机械泵、预抽,开涡轮分子泵电源、并启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
 
    5.观察涡轮分子泵读数到达250以后,关预抽,开前级泵和高真空阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。
 
    DEF-6B操作
 
    1.总电源。
 
    2.同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。
 
    3.开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。
 
    关机顺序
 
    1.关高真空表头、关分子泵。
 
    2.待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
 
    3.到50以下时,再关维持泵。
 
    真空镀膜需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。东莞木龙科技有限公司创立于2019年10月,是一家专业从事真空镀膜设备及工艺的研发、设计、生产、销售于一体的企业。主营产品:真空镀膜生产设备和真空镀膜配件、自动化设备、镀膜材料和镀膜加工。
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