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镀膜生产线中的离线真空溅射法是怎样的?

编辑:木龙科技 发布时间:2021-01-18 15:40:17 点击:

     镀膜生产线能够在微颗粒表面沉积各种金属薄膜(包括磁性金属膜)、金属氧化物薄膜、金属氮化物薄膜及合金薄膜,且所镀薄膜致密、均匀、纯度高、附着力强等。镀膜生产线中的离线真空溅射法是怎样的?

镀膜生产线
    离线法生产Low-E玻璃,是目前国际上普遍采用真空磁控溅射镀膜技术。和高温热解沉积法不同,溅射法是离线的。且据玻璃传输位置的不同有水平及垂直之分。溅射法工艺生产"Low-E"玻璃,需一层纯银薄膜作为功能膜。纯银膜在二层金属氧化物膜之间。金属氧化物膜对纯银膜提供保护,且作为膜层之间的中间层增加颜色的纯度及光透射度。
 
    垂直式生产工艺中,玻璃垂直放置在架子上,送入10-1帕数量级的真空环境中,通入适量的工艺气体(惰性气体Ar或反应气体O2、N2),并保持真空度稳定。将靶材Ag、Si等嵌入阴极,并在与阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。
 
    以磁控靶为阴极,加上直流或交流电源,在高电压的作用下,工艺气体发生电离,形成等离子体。其中,电子在电场和磁场的共同作用下,进行高速螺旋运动,碰撞气体分子,产生更多的正离子和电子;正离子在电场的作用下,达到一定的能量后撞击阴极靶材,被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。
 
    为了形成均匀一致的膜层,阴极靶靠近玻璃表面来回移动。为了取得多层膜,必须使用多个阴极,每一个阴极均是在玻璃表面来回移动,形成一定的膜厚。水平法在很大程度上是和垂直法相似的。
 
    主要区别在玻璃的放置,玻璃由水平排列的轮子传输,通过阴极,玻璃通过一系列销定阀门之后,真空度也随之变化。当玻璃到达主要溅射室时,镀膜压力达到,金属阴极靶固定,玻璃移动。在玻璃通过阴极过程中,膜层形成。
 
    镀膜是在表面镀上非常薄的透明薄膜。目的是希望减少光的反射,增加透光率,抗紫外线并抑低耀光、鬼影。东莞木龙科技有限公司创立于2019年10月,是一家专业从事真空镀膜设备及工艺的研发、设计、生产、销售于一体的企业。主营产品:真空镀膜生产设备和真空镀膜配件、自动化设备、镀膜材料和镀膜加工。
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