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为何真空镀膜机中的旋片泵容易出现问题?

编辑:木龙科技 发布时间:2020-11-19 14:59:26 点击:

     真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。为何真空镀膜机中的旋片泵容易出现问题?

真空镀膜机
    1、可能是未做保养导致灰尘太多。真空镀膜设备在镀膜过程中容易产生大量灰尘,这些灰尘伴随空气容易混杂到泵油中,时间久了容易对转子及泵腔造成磨损及破坏。
 
    处理方法:如果灰尘不多,可以油过滤系统除掉灰尘;如果灰尘过多可以用除尘器配合油过滤系统除掉灰尘。
 
    2、旋片式真空泵冒烟和喷油:指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油,冒烟,假如是泵刚刚开端运转有冒烟的现象,属于正常,假如长时间在冒烟就是不正常了。处理方法:冒烟阐明泵的进气口外,包括管道、阀门、容器有修理的状况。检漏以后处置了,冒烟会完毕。
 
    3、喷油,阐明进气口外有大量的漏点,以至是进气口暴露大气。处理方法:封住泵的进气口使泵运转,假如不喷油的话,阐明有漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片能否损坏,改换坏的排气阀片。真空泵真空度降落怎样办?
 
    4、被抽气体的温度可能过高。处理方法:降低被抽气体的温度,或能够加一个相应的换热器。
 
    5、配合的间隙改大。这是长期被抽气体内含有粉尘等,形成旋片和定子之间磨损后的间隙增大。处理方法:检查间隙能否过大,改换新的零部件。
 
    6、泵内的油路不通或者不畅,泵腔内没有坚持一定量的油量。处理方法:检查油路能否畅通,并加同类型的真空泵油。
真空镀膜机
    真空镀膜机蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。东莞木龙科技有限公司创立于2019年10月,是一家专业从事真空镀膜设备及工艺的研发、设计、生产、销售于一体的企业。
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