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真空镀膜设备所采用的氨气检漏法的优缺点有这些

编辑:木龙科技 发布时间:2020-11-24 17:56:50 点击:

     一种真空镀膜设备常用的检漏方法。灵敏度受氨压力、曝光时间和显影带中使用的指示剂灵敏度的影响。当真空设备的泄漏率一定时,显影带上斑点的大小受曝光时间、使用的指示剂和氨压力的影响,真空镀膜设备所采用的氨气检漏法的优缺点有这些。

真空镀膜设备
    1、氨气检漏法的优点:
 
    对被检设备的清洁程度要求较低,因为氨气可穿过被检设备上的被油、水阻塞的漏孔;
 
    能够准确地找出疑漏部位的漏孔位置;
 
    氨气的来源充足,所需成本低;
 
    氨检漏设备的构造简单、易于操作;
 
    此方法的灵敏度不会受被检装置的容积大小所影响。没有特大漏孔存在的话,只需充氨一次就可检完全部焊缝。因而此方法适用于对真空镀膜设备这一类大容器、大型复杂结构的真空设备检漏;
 
    随着曝光时间的加长及氨压的升高,检漏灵敏度也会相应地提高。因此,只要被检镀膜设备的氨压提高并适当曝光时间延长,就可以检出更小的漏孔。
 
    2、氨气检漏法的缺点:
 
    氨气直接接触人体可能对人体造成严重的影响,且易燃、易爆,需做好防护;
 
    此方法只适用于耐高压真空设备的检漏;
 
    氨气会腐蚀铜及铜合金,故不能做含有此类材料的真空设备的检漏;
 
    氨气检漏法虽能较为准确地检示出设备每个漏孔的位置,但其总漏率却很难准确给出。
 
    真空镀膜设备中采用的氨气检漏法检漏过的部位,如需进行补焊工作,则要保证其中的氨气浓度不能高于0.2%,以防出现燃烧、爆炸等危险;该方法的执行工作人员要戴好防毒面具和风镜,做好保护措施;室内需配备良好的通风措施,妥善处理废氨气,避免造成环境污染;此外需保证试验设备的可靠、牢固。
真空镀膜设备
 
    真空镀膜设备蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。东莞木龙科技有限公司创立于2019年10月,是一家专业从事真空镀膜设备及工艺的研发、设计、生产、销售于一体的企业。主营产品:真空镀膜生产设备和真空镀膜配件、自动化设备、镀膜材料和镀膜加工。
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