Mulong Technology
服务咨询热线：
135 4483 3828
Mulong Technology
服务咨询热线：
135 4483 3828产品分类
Product Categories
本镀膜机配备有四对中频溅射靶材，可以有效提高溅射速率，加快镀膜速度。同时配备有与旋转机构同步的膜厚监测装置，可以在线监控膜层沉积的厚度，同时实施自动化控制，可以存储100种材料，和20个工艺数据。
|
AR专用镀膜机配置 |
||||||
|
序号 |
项目 |
型号 |
单位 |
数量 |
备注 |
|
|
1 |
镀膜腔体 |
1600*1500 |
个 |
1 |
不锈钢 |
|
|
2 |
机械泵 |
H150 |
个 |
1 |
|
|
|
3 |
罗茨泵 |
ZJP1200 |
个 |
1 |
|
|
|
4 |
分子泵 |
1600 |
个 |
6 |
|
|
|
5 |
旋转阴极 |
|
套 |
4 |
|
|
|
6 |
中频电源 |
|
套 |
4 |
|
|
|
7 |
膜厚仪 |
|
套 |
1 |
|
|
|
8 |
维持泵 |
2X-30 |
台 |
1 |
|
|
|
9 |
初抽阀 |
|
套 |
1 |
|
|
|
10 |
前置阀 |
|
套 |
1 |
|
|
|
11 |
精抽阀 |
|
套 |
1 |
|
|
|
12 |
放气阀 |
|
套 |
1 |
|
|
|
13 |
转动架 |
|
套 |
1 |
|
|
|
14 |
基片架 |
|
套 |
1 |
|
|
|
15 |
离子网 |
|
套 |
1 |
|
|
|
16 |
深 冷 |
|
套 |
1 |
|
|
手机扫一扫查看
![[查看原图片]](/d/file/ar/2020-04-28/2213c34653ad3938ab6ab75cdf2191c8.jpg target=){kind=link}