产品分类
Product Categories本镀膜机配备有四对中频溅射靶材,可以有效提高溅射速率,加快镀膜速度。同时配备有与旋转机构同步的膜厚监测装置,可以在线监控膜层沉积的厚度,同时实施自动化控制,可以存储100种材料,和20个工艺数据。
AR专用镀膜机配置 |
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序号 |
项目 |
型号 |
单位 |
数量 |
备注 |
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1 |
镀膜腔体 |
1600*1500 |
个 |
1 |
不锈钢 |
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2 |
机械泵 |
H150 |
个 |
1 |
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3 |
罗茨泵 |
ZJP1200 |
个 |
1 |
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4 |
分子泵 |
1600 |
个 |
6 |
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5 |
旋转阴极 |
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套 |
4 |
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6 |
中频电源 |
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套 |
4 |
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7 |
膜厚仪 |
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套 |
1 |
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8 |
维持泵 |
2X-30 |
台 |
1 |
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9 |
初抽阀 |
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套 |
1 |
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10 |
前置阀 |
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套 |
1 |
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11 |
精抽阀 |
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套 |
1 |
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12 |
放气阀 |
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套 |
1 |
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13 |
转动架 |
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套 |
1 |
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14 |
基片架 |
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套 |
1 |
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15 |
离子网 |
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套 |
1 |
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16 |
深 冷 |
|
套 |
1 |
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