AR单体真空镀膜机

编辑:木龙科技 发布时间:2020-04-28 点击:
AR单体真空镀膜机
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详细介绍:

本镀膜机配备有四对中频溅射靶材,可以有效提高溅射速率,加快镀膜速度。同时配备有与旋转机构同步的膜厚监测装置,可以在线监控膜层沉积的厚度,同时实施自动化控制,可以存储100种材料,和20个工艺数据。

AR专用镀膜机配置

 
 

序号

项目

型号

单位

数量

备注

 

1

镀膜腔体

1600*1500

1

不锈钢

 

2

机械泵

H150

1

 

 

3

罗茨泵

ZJP1200

1

 

 

4

分子泵

1600

6

 

 

5

旋转阴极

 

4

 

 

6

中频电源

 

4

 

 

7

膜厚仪

 

1

 

 

8

维持泵

2X-30

1

 

 

9

初抽阀

 

1

 

 

10

前置阀

 

1

 

 

11

精抽阀

 

1

 

 

12

放气阀

 

1

 

 

13

转动架

 

1

 

 

14

基片架

 

1

 

 

15

离子网

 

1

 

 

16

 

 

1